Vantagens:
Esta série de bombas tem bom desempenho em ambientes agressivos (alta temperatura, poeira, etc.), desempenho estável e longa vida útil, além de manutenção simples e operação conveniente.
Formulários:
As principais aplicações são em detecção de vazamento industrial, PVD, CVD, implantação iônica, fabricação de componentes eletrônicos a vácuo, vidro low-E, vidro ITO, revestimento óptico, células solares, soldagem por feixe de elétrons, forno a vácuo e outras indústrias
Especificações:
Flange (In) | DN400 ISO-K | Gás em todo (sccm) | N2: 5500 |
Flange (Out) KF | DN100 | Ele : 4000 | |
Velocidade de bombeamento (L / s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
Ele : 2650 | Ar : 2100 | ||
H2: 1280 | Velocidade de rotação (rpm) | 13500 | |
Ar : 3200 | Tempo de inicialização (min) | ≤18 | |
Taxa de compressão | N2: 108 | Tipo de resfriamento, padrão | Água |
Ele : 103 | Consumo de água de resfriamento (L / min) | ≥1 | |
H2: 102 | Temperatura da água de resfriamento (℃) | ≤25 | |
Ar : 108 | Conexão de energia: Tensão (V AC) | DC24 / AC220 | |
Pressão final (Pa) | 6 × 10-6 | Consumo máximo de energia (W) | ≤1100 |
Máx. Pressão contínua do vácuo dianteiro (Pa) | 100 | Modelo de controlador | FD-III |
Máx. Pressão de vácuo anterior | N2: 300 | Peso (kgs) | 130 |